Spectroscopic ellipsometry of intentionally disordered superlattices

  1. Domínguez-Adame, F.
  2. Hey, R.
  3. Bellani, V.
  4. Parravicini, G.B.
  5. Diez, E.
Zeitschrift:
Microelectronics Journal

ISSN: 0026-2692

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 35

Nummer: 1

Seiten: 59-61

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/S0026-2692(03)00223-4 GOOGLE SCHOLAR
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