Design and characterization of a pulsed plasma source
- Del Val, J.A.
- Mar, S.
- Gigosos, M.A.
- De La Rosa, I.
- Pérez, C.
- González, V.
ISSN: 0021-4922
Datum der Publikation: 1998
Ausgabe: 37
Nummer: 7
Seiten: 4177-4181
Art: Artikel
Zeitschrift:
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers