Characterization of thick conducting molybdenum films: Enhanced conductivity via thermal annealing

  1. Marcelli, A.
  2. Spataro, B.
  3. Sarti, S.
  4. Dolgashev, V.A.
  5. Tantawi, S.
  6. Yeremian, D.A.
  7. Higashi, Y.
  8. Parodi, R.
  9. Notargiacomo, A.
  10. Xu, J.
  11. Cappuccio, G.
  12. Gatti, G.
  13. Cibin, G.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Any de publicació: 2015

Volum: 261

Pàgines: 391-397

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2014.10.050 GOOGLE SCHOLAR