Characterization of thick conducting molybdenum films: Enhanced conductivity via thermal annealing

  1. Marcelli, A.
  2. Spataro, B.
  3. Sarti, S.
  4. Dolgashev, V.A.
  5. Tantawi, S.
  6. Yeremian, D.A.
  7. Higashi, Y.
  8. Parodi, R.
  9. Notargiacomo, A.
  10. Xu, J.
  11. Cappuccio, G.
  12. Gatti, G.
  13. Cibin, G.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2015

Volumen: 261

Páginas: 391-397

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2014.10.050 GOOGLE SCHOLAR