Automated and inexpensive method to manufacture solid- state nanopores and micropores in robust silicon wafers

  1. Vega, M.
  2. Granell, P.
  3. Lasorsa, C.
  4. Lerner, B.
  5. Perez, M.
Actes:
Journal of Physics: Conference Series

ISSN: 1742-6596,  1742-6588

Any de publicació: 2016

Volum: 687

Número: 1

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1088/1742-6596/687/1/012029 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus